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高纯二氧化硅通常是指二氧化硅中含有的金属杂质含量特别低，一般在10ppm乃至1ppm以下，属高性能无机硅材料，已广泛应用于许多高新技术领域，日益受到关注。本文对高纯二氧化硅的制备技术进行了全面介绍，对各种制法的优缺点进行了评述。
高纯二氧化硅的制备研究进展
【摘 要】
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高纯二氧化硅通常是指二氧化硅中含有的金属杂质含量特别低，一般在10ppm乃至1ppm以下，属高性能无机硅材料，已广泛应用于许多高新技术领域，日益受到关注。本文对高纯二氧化硅的制
【机 构】
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渤海大学科技实验中心
【出 处】
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渤海大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2010年2期
【基金项目】
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辽宁省科技厅重点项目(No:2009402007)
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