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指出常用的单加热源管式电阻炉存在轴向温度分布的不均匀性,分析表明,其根源在于显著的轴向散热。自制的一台可调管式电阻炉将加热源分成三个功率独立可调的区域,借助可调变压器调节各加热压的输入电压,而最终可以获得既长又均匀的令人满意的温度区。在这台管式炉中成功地获得同一的碳-氮共渗、氮化等渗层。