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硬质颗粒冲蚀（SPE）是固定式压缩机叶片和风煤气涡轮叶片失效的主要机制，冲蚀不仅降低了涡轮的效率，还减少了其使用寿命。从而，降低了可靠性和有效性，增加了涡轮运行的总成本。在沙漠环境下，SPE尤为严重，甚至会导致事故。为此，提出采用等离子增强磁控溅射技术（PEMS）制备厚氮化物层（TiN，CrN，ZrN）和纳米复合碳氮化物镀层，来解决此类问题。该技术结合了传统磁控溅射和专门产生的等离子体，以获得更高的电流密度。在沉积前和沉积过程中采用重离子轰击的方法，能够有效提高涂层的结合力，并限制柱状组织生长，使得单层的