【摘 要】
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电弧离子镀技术中真空电弧的工作稳定性对于制备高质量的涂层至关重要。本研究通过在一系列工艺条件下开展电弧离子镀镀膜实验,研究和分析了电弧离子镀中磁场、靶面污染物、
【机 构】
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西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所,
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电弧离子镀技术中真空电弧的工作稳定性对于制备高质量的涂层至关重要。本研究通过在一系列工艺条件下开展电弧离子镀镀膜实验,研究和分析了电弧离子镀中磁场、靶面污染物、靶面温度、靶面尺寸和形貌、维弧电流以及工作气体种类和压力对真空电弧稳定性的影响,从而得出了提高电弧稳定性的控制方法。
The working stability of the vacuum arc in arc ion plating is crucial for the production of high quality coatings. In this study, we carried out arc ion plating experiments under a series of technological conditions to study and analyze the magnetic field, target surface contaminants, target surface temperature, target size and morphology, arc current and working gas species in arc ion plating Pressure on the stability of the vacuum arc, resulting in a control method to improve the stability of the arc.
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