衍射光栅分划误差的测定方法

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在衍射光栅现代化生产和实际使用中,为了测定光栅的分划质量,主要使用光谱法、阴影法和干涉法。按照第一种方法,是评价光栅的光谱特性,亦即光谱线的轮廓形状、位置和强度,以及在选定光谱级次上的散射光。因此,得到的是有关作为光学元件的光栅质量的 In the modern production and practical use of diffraction gratings, spectral methods, shading methods and interference methods are mainly used to determine the grading quality of gratings. According to the first method, the spectral characteristics of the grating, that is, the contour shape, position and intensity of the spectral lines, and the scattered light at the selected spectrum level are evaluated. Therefore, what is obtained is the quality of the grating as an optical element
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