【摘 要】
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微纳米技术的迅速发展促使微机电系统(MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统(MOEMS),从而为可编程相位光栅的研究和实现提供了可能.在MOEMS的设计中,仅用传统的分析手段已经
【基金项目】
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国家自然科学基金(69978008)、教育部高等学校骨干教师资助计划资助.
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微纳米技术的迅速发展促使微机电系统(MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统(MOEMS),从而为可编程相位光栅的研究和实现提供了可能.在MOEMS的设计中,仅用传统的分析手段已经不够,其建模和仿真需要用到有限元分析.本文提出了一种可编程相位光栅的可变形结构,运用经典理论建模,通过计算得到其变形的定性分析结果和定量的近似结果,并提出一个用有限元分析软件ANSYS进行有限元建模的实例,得到相应的仿真结果.
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