NiC/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：you0tmd1234

【摘要】

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采用磁控溅射法,在刀具材料为w18Cr4V高速钢的后刀面上镀制了NjCr/Nisi薄膜热电偶.传感器既能满足切削要求,同时又能够快速采集温度信号,并对其进行了静态和动态标定,实验范

【作者】

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朱亚民张军崔云先孙奉道

【机构】

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大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连,116085

【出处】

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仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2008年9期

【关键词】

：

薄膜热电偶磁控溅射瞬态切削温度有限元

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采用磁控溅射法,在刀具材料为w18Cr4V高速钢的后刀面上镀制了NjCr/Nisi薄膜热电偶.传感器既能满足切削要求,同时又能够快速采集温度信号,并对其进行了静态和动态标定,实验范围内线性误差为O.56%,时间常数为12.7 ms,响应迅速,满足实验要求.最后用ANSYS对传感器的瞬态响应和温度场分布进行了有限元仿真.并通过实验进行了验证.

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