【摘 要】
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本文利用CW CO_2激光对GaAs的穿透性从GaAs晶片背面进行辐照,形成了良好的Au-Ge-Ni-n GaAs欧姆接触。研究了激光合金化对不同摻杂浓度GaAs的欧姆接触,并与热合金化作了对比试
【机 构】
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中国科学院上海冶金所,中国科学院上海冶金所,中国科学院上海冶金所,中国科学院上海冶金所
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本文利用CW CO_2激光对GaAs的穿透性从GaAs晶片背面进行辐照,形成了良好的Au-Ge-Ni-n GaAs欧姆接触。研究了激光合金化对不同摻杂浓度GaAs的欧姆接触,并与热合金化作了对比试验。结果表明,激光合金化有较低的比接触电阻,材料的载流子浓度越低,比接触电阻降低得越显著。AES分析表明,激光合金化造成了一个优良的以Ge取代Ga的重掺杂的n型GaAs层。
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