【摘 要】
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水平式隧穿磁强计梁的结构设计可采用直梁和折叠梁。直梁结构质量弹簧系统的弹性系数可通过几何建模的方法确定,但折叠梁结构则难于采用该方法确定。本文以单折梁为例,采用有
【机 构】
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上海电机学院电机学院,清华大学精密仪器与机械学系
【基金项目】
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基金项目：由上海市教委重点项目-隧穿式MEMS磁强计的研制技术研究（06ZZ97）和上海市机械制造及其自动化重点（培育）学科资助.
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水平式隧穿磁强计梁的结构设计可采用直梁和折叠梁。直梁结构质量弹簧系统的弹性系数可通过几何建模的方法确定,但折叠梁结构则难于采用该方法确定。本文以单折梁为例,采用有限元仿真,通过建立单折梁结构和直梁结构在受到相同外力时位移变化之间的关系,推导出单折梁结构的弹性系数和驱动电压计算公式。此外,通过分析单折梁结构和直梁结构的水平式隧穿磁强计1-4阶模态振型,发现单折梁结构的1-3阶模态的运动方向与直梁结构相同;单折梁结构第4阶模态的方向既有绕X轴的转动,也有绕Z轴的转动,绕Z轴的转动为主要运动。
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