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根据扫描电子声学显微镜的要求,利用物镜光阑在第一透镜的上方形成的虚像作为斩束孔,分析了由三个透镜组成的电镜中电子束的斩束系统,给出了斩束光路设计和测试结果。
电子声学显微镜中的斩束研究
【摘 要】
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根据扫描电子声学显微镜的要求,利用物镜光阑在第一透镜的上方形成的虚像作为斩束孔,分析了由三个透镜组成的电镜中电子束的斩束系统,给出了斩束光路设计和测试结果。
【机 构】
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电子科技大学高能电子所,电子科技大学高能电子所成都610054,成都610054
【出 处】
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电子科技大学学报
【发表日期】
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1992年3期
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