【摘 要】
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半导体器件制造是一种多学科多门类技术综合应用的系统工程。本文通过半导体器件中比较典型的一个分支，高反压台面晶体管关键工序玻璃化及其相关工序的讨论，介绍了真空技术在半
【机 构】
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半导体器件制造是一种多学科多门类技术综合应用的系统工程。本文通过半导体器件中比较典型的一个分支，高反压台面晶体管关键工序玻璃化及其相关工序的讨论，介绍了真空技术在半导体生产中的广泛应用，从中可以看出半导体工艺与真空技术的紧密联系乃至深刻的依赖关系。
Semiconductor device manufacturing is a multidisciplinary multi-category technology integrated application of systems engineering. In this paper, through the discussion of the vitrification of the key processes of high-voltage back-top mesa transistors and their related processes, a typical application in semiconductor devices is introduced. The application of vacuum technology in semiconductor manufacturing is introduced. It can be seen that semiconductor technology and vacuum technology are close Contact and deep dependence.
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