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本文报道了用低能大面积电子束处理注砷硅片的实验结果。由四探针和背散射、沟道效应测量结果表明，用本方法退火的样品具有电激活率高和砷原子再分布小的优点。
注砷硅片低能电子束退火
【摘 要】
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本文报道了用低能大面积电子束处理注砷硅片的实验结果。由四探针和背散射、沟道效应测量结果表明，用本方法退火的样品具有电激活率高和砷原子再分布小的优点。
【机 构】
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复旦大学
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1990年1期
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