Novel Pattern-Centric Solution for Xtacking^TM AFM Metrology

来源 :微电子制造学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yaer7201982

【摘要】

：

3D NAND(three-dimensional NAND type)has rapidly become the standard technology for enterprise flash memories,and is also gaining widespread use in other applica

【作者】

：

Sicong Wang Jian Mi Abhishek V

【机构】

：

YangtzeMemoryTechnologiesCo.Ltd,AnchorSemiconductorInc,AnchorSemiconductorInc

【出处】

：

微电子制造学报

【发表日期】

：

2019年4期

【关键词】

：

VIA DISHING AFM Image METROLOGY 3D NAND

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3D NAND(three-dimensional NAND type)has rapidly become the standard technology for enterprise flash memories,and is also gaining widespread use in other applications.Continued manufacturing process improvements are essential in delivering memory devices w

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