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本文在理论联系实际的基础上就离子注入机的电磁兼容性(EMC)问题进行了初步的研究。分析了离子注入机中的噪声干扰状况;提出了离子注入机中几个实际的噪声干扰模型;比较系统地介绍了离子注入机中常用的EMC技术及其实施措施。
离子注入机的EMC技术研究
【摘 要】
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本文在理论联系实际的基础上就离子注入机的电磁兼容性(EMC)问题进行了初步的研究。分析了离子注入机中的噪声干扰状况;提出了离子注入机中几个实际的噪声干扰模型;比较系统
【机 构】
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长沙半导体工艺设备研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1990年1期
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