【摘 要】
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１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＩｎｒｅｃｅｎｔｙｅａｒｓｓｉｌｉｃｏｎｄｉｒｅｃｔｂｏｎｄｉｎｇ（ＳＤＢ）ｈａｓｂｅｅｎｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｅｄａｓａｐｒｏｍｉｓｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ－ｅｌｅｃｔｒｏｎ－ｍａｃｈｉｎｅ－ｓｙ...
1IntroductionInrecentyearssilicondirectbonding (SDB) hasbeendemonstratedasapromisingtechnologyforMEMS (micro-electron-machine
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１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＩｎｒｅｃｅｎｔｙｅａｒｓｓｉｌｉｃｏｎｄｉｒｅｃｔｂｏｎｄｉｎｇ（ＳＤＢ）ｈａｓｂｅｅｎｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｅｄａｓａｐｒｏｍｉｓｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ－ｅｌｅｃｔｒｏｎ－ｍａｃｈｉｎｅ－ｓｙ...
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