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目前,国内还没有有效的检定方法和工具定量地检定国内生产或国外进口的圆度仪测量系统的滤波特性。为此,我们提出了一种新的检定传感器旋转式(检定时不用从圆度仪上拆下传感器)和工作台旋转式圆度仪滤波特性的差动式超低频(低频可至0.042Hz)微振动器(振幅不大于10μm)用于检定国内外生产的圆度仪各滤波档的滤波特性。