【摘 要】
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完整的LDD GaN HEMT器件制作过程主要分为GaN材料生长和器件制作两个主要部分,由于自然界中没有天然的GaN材料,目前大多数GaN材料采用MOCVD以及HPVE方法进行生长。GaN材料的生长质量和器件的制备工艺共同决定了LDD GaN HEMT器件的性能,本文我们重点介绍LDD GaN HEMT器件的制备工艺。一、LDD GaN HEMT器件基本结构目前,LDD GaN HEMT结构主要由以下六个部分组成,从下至上分别为第一层、蓝宝石或者SiC衬底,第二层、AlN成核层,厚度约为100nm,第三层
【基金项目】
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吉林建筑大学大学生创新创业项目《LDD结构GaN HEMT转移特性分析》资助。
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完整的LDD GaN HEMT器件制作过程主要分为GaN材料生长和器件制作两个主要部分,由于自然界中没有天然的GaN材料,目前大多数GaN材料采用MOCVD以及HPVE方法进行生长。GaN材料的生长质量和器件的制备工艺共同决定了LDD GaN HEMT器件的性能,本文我们重点介绍LDD GaN HEMT器件的制备工艺。一、LDD GaN HEMT器件基本结构目前,LDD GaN HEMT结构主要由以下六个部分组成,从下至上分别为第一层、蓝宝石或者SiC衬底,第二层、AlN成核层,厚度约为100nm,第三层
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