不同下电极对Sol—Gel LiTaO3薄膜性能的影响

• 作 者: 但迪迪 张德银 李坤 谢太斌 李金华
• 机 构: 江苏工业学院功能材料实验室,电子科技大学机电工程学院
• 出 处: 江苏工业学院学报
• 发表日期: 2008年1期
• 关键词: 铁电薄膜 钽酸锂 电极 SOL-GEL ferroelectric thin film； lithium tantalite； electrode； Sol-G

用醇盐制备了钽酸锂（LiTaO3）溶胶，分别在Pt、ITO、TiN衬底上旋转涂胶成膜。经快速热退火后，用X射线衍射（XRD）测试了膜的结晶取向，用PLC-100铁电材料分析仪测试膜的铁电特性，用TH2818测试薄膜的介电常数及损耗。结果表明，3种衬底上制备出的薄膜在650℃均可达到充分结晶，薄膜的相对介电常数约160;在10V时，Pt、ITO、TiN下电极上的剩余极化强度分别为8．42，5．21和5．76μC／cm^2；在5V时的漏电分别为2．71×10^-7，9．24×10^-7和2