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提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路，其结构设计简洁紧凑，光路布局对称性好，光程差倍增，符合阿贝原则和结构变形最小原则。对系统精度在理论分析的基础上进行了估算，得出了在10mm范围内干涉仪综合精度的理论值约为±1．8nm。采用与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测，利用线性回归的方法对测量结果进行处理。试验结果表明：该干涉测量系统的精度约为14nm。