【摘 要】
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在以氢先氦后的顺序注入的硅样品中，经不同温度的退火，发现比氢、氦分别单独注入时小得多的注入剂量足以使硅样品表面产生砂眼及剥离。本文用ＲＢＳ／Ｃ、Ｘ射线四晶衍射、ＡＦＭ、ＸＴＥＭ 等不同方法对
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所功能材料国家重点实验室!上海200050,中国科学院上海冶金研究所功能材料国家重点实验室!上海200050,中国科学院上海冶金研究所功能材料国家重点实验室!上海200050,中
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在以氢先氦后的顺序注入的硅样品中，经不同温度的退火，发现比氢、氦分别单独注入时小得多的注入剂量足以使硅样品表面产生砂眼及剥离。本文用ＲＢＳ／Ｃ、Ｘ射线四晶衍射、ＡＦＭ、ＸＴＥＭ 等不同方法对氢、氦共注入样品进行了研究，对结果作了计算机模拟，并对其机制做了分析与研究。
In silicon samples injected in the order of hydrogen first and then helium, annealing at different temperatures showed that a much smaller injection dosage than hydrogen and helium alone was enough to cause blistering and delamination on the silicon sample surface. In this paper, RBS / C, X-ray four-crystal diffraction, AFM, XTEM and other different methods of hydrogen and helium co-injection samples were studied, the results of a computer simulation, and its mechanism analysis and research.
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