低温磁控溅射SnO2：Sb透明导电膜的结构与导电性能

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：deiseng

【摘要】

：

采用射频磁控溅射法在7059玻璃衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2:Sb)透明导电膜,对薄膜的结构和电学性质进行了研究.制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构

【作者】

：

马瑾刘晓梅张士勇郝晓涛马洪磊

【机构】

：

山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所,山东大学计算机学院,长安大学基础部物理组

【出处】

：

太阳能学报

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

磁控溅射 SnO2:Sb薄膜结构和电学性质 Carrier concentrationElectric resistanceElectronic proper

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用射频磁控溅射法在7059玻璃衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2:Sb)透明导电膜,对薄膜的结构和电学性质进行了研究.制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构,而且具有明显的(110)择优取向.最低电阻率为2×10-3Ω·cm,载流子浓度和迁移率分别为1.65×1020cm-3和19.0cm2·v-1·s-1.

其他文献

大型反应器的制造技术

介绍了大型反应器制造过程中的控制要点,主要包括钛-钢复合板材料控制,钛-钢复合板材料焊接及热处理,复合板封头成形,管板管孔的加工与控制,以及反应器的重要检验与试验。

期刊

反应器热处理无损检测制造工艺压力容器换热器焊接

小型太阳能溴化锂制冷机的一种新型结构

介绍一种新型单级溴化锂吸收式制冷机结构.该制冷机采用浓溶液直接喷淋循环方式、无冷剂水泵循环结构,无管板胀管制造工艺,从而使结构简单、紧凑,加工方便,造价降低,更适合于

期刊

太阳能吸收式制冷机小型溴化锂Solar energysmall LiBrabsorption chiller

太阳能冷管的研究及其进展

太阳能冷管以沸石分子筛-水为工质对,在一根玻璃管内完成吸附式制冷循环,一根冷管即为一个制冷单元,成功地解决了太阳能吸附式制冷技术难以转化为成果的问题.本文综述了作者

期刊

太阳能冷管吸附制冷COPsolar cooling tube adsorption refrigeration COP

热壁外延生长GaAs薄膜的结构特征

该文介绍以Si和SnO2/glass两种材料为衬底,采用热壁外延方法,制得GaAs多晶薄膜.采用电子探针(EPMA)测定薄膜的组分、表面与剖面形貌,x射线衍射(XRD)分析薄膜的结构情况.结果

期刊

太阳电池GaAs薄膜Si或SnO2/glass衬底solar cell GaAs film Si or SnO2/glass substrate

新型太阳能双喷射制冷系统的理论研究

提出了一个用气-液喷射器代替机械泵的新型双喷射制冷系统。双喷射制冷系统中没有机械泵，从而循环本身不需要消耗电能。研究了气-液喷射器的运行特性和喷射系数与工作参数的关

期刊

喷射器双喷射太阳能制冷系统ejector bi-ejector solar refrigeration system

低温磁控溅射SnO2：Sb透明导电膜的结构与导电性能

其他学术论文