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粒子碰撞噪声检测仪是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,用于检测封装器件内的多余粒子。本文在分析粒子碰撞噪声检测仪测试原理的基础上,给出了校准方法。并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定。
粒子碰撞噪声检测仪校准与测量不确定度评定
【摘 要】
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粒子碰撞噪声检测仪是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,用于检测封装器件内的多余粒子。本文在分析粒子碰撞噪声检测仪测试原理的基础上,给出了校准方法。并结合校准实例,
【机 构】
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中国电子技术标准化研究院
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2013年S1期
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