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本文介绍了为优化0．5μm器件而对用于常规铝的TiN阻挡层形成和热平坦化铝所做的研究结果。采用金属退火集群组合设备原位形成TiN阻挡层。讨论了铝平坦化工艺。介绍了漏电流和电迁移研究中取得的电特性结果。
适用于0.5μm器件的TiN阻挡层和Al平坦化的PVD集成工艺
【摘 要】
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本文介绍了为优化0．5μm器件而对用于常规铝的TiN阻挡层形成和热平坦化铝所做的研究结果。采用金属退火集群组合设备原位形成TiN阻挡层。讨论了铝平坦化工艺。介绍了漏电流和
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1994年5期
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