极高真空获得技术和物理的晚近发展

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极高真空技术是现代真空科学技术发展的前沿课题。它的开发必将把整个真空科学技术带到一个新的水平,产生更大的经济效益。本文将对八十年代极高真空获得技术和物理的发展概况作一回顾。 一、抽气方程 在真空容器中,当空间和热量处于均匀状态即在平衡态或准平衡态的情况下抽气? High vacuum technology is the forefront of modern vacuum science and technology development issues. Its development will surely bring the entire vacuum science and technology to a new level and bring greater economic benefits. This article reviews the technical and physical development of very high vacuum in the 1980s. First, the pumping equation In a vacuum vessel, when the space and heat in a uniform state that is balanced or quasi-equilibrium in the case of pumping?
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