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期刊论文
C60/Pd多层膜TEM研究
C60/Pd多层膜TEM研究
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lin0929
【摘 要】
:
通过蒸发和磁控射镀膜的方法,交替沉积C60和金属Pd膜,制备了不同周期和厚率比的C60/Pd多层膜,利用透射电子显微术(TEM)研究了这些薄膜退火前后的结构。
【作 者】
:
王兵
李永庆
【机 构】
:
中国科学技术大学基础物理中心
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
碳60
钯
多层膜
TEM
薄膜
结构
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通过蒸发和磁控射镀膜的方法,交替沉积C60和金属Pd膜,制备了不同周期和厚率比的C60/Pd多层膜,利用透射电子显微术(TEM)研究了这些薄膜退火前后的结构。
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