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利用射频辉光放电法在不锈钢衬底上制备了类金刚石薄膜，用显微硬度计测试了薄膜与衬底复合膜度和衬底硬度。并用Ｂ．Ｊｏｎｓｏｎ和Ｂ．Ｈｏｇｍａｒｋ方法将薄硬度分离出来，得到了硬度值与制与制备参数间的关系，确定了在不锈钢衬底上沉积高度和强附丰度类金刚石薄膜的最佳工艺条件范围，并对实验结果进行了理论解释。