真空退火对Ti6Al4V合金离子注氧层表面形貌和结构的影响

• 作 者: 李金龙 孙明仁 马欣新
• 机 构: 中科院宁波材料技术与工程研究所,宁波 315201 哈尔滨工业大学,哈尔滨 150001
• 出 处: 第十次全国热处理大会
• 发表日期: 2011年3期
• 关键词: Ti6Al4V合金 等离子体 氧离子注入技术 表面形貌 样品结构 真空退火处理

本文采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6Al4V合金进行表面处理.注入电压选取-50kV,注入剂量为4．5×1017 ions/cm2.氧离子注入后对注入样品进行不同温度的真空退火处理.
真空退火后,样品表面形貌发生显著变化.随着退火温度增加,先后出现点状、条状缺陷和浅白色块状区.500℃真空退火后样品表面粗糙度变化不大,600℃真空退火后样品表面粗糙度急剧增加.真空退火导致注氧层中氧流失,并且不能在注氧层中析出结晶相.