SPR系统加速Fab范围内成品率提升

• 作 者: Andrew Drozda-Freeman Mike Mclntyre Mike Retersdorf Chirs Wooten Prasad Bachiraju xin Song Len La Bua
• 机 构: Advanced Micro Devices,Advanced Micro Devices,Advanced Micro Devices,Advanced Micro Devices,Rudolph
• 出 处: 集成电路应用
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: 成品率 图样 芯片制造商 可扩展的 快速识别 工艺步骤 数据源 偏差 测试系统 半导体制造

缺陷图样识别(SPR)技术可以加速对良率损失问题的矫正。其面临的最大挑战在于如何配置SPR系统才能高效地处理现代fab所产生的海量数据,并对数据加以组织以提供快速一致的解决方案。

Defect pattern recognition (SPR) techniques can speed up the correction of yield loss problems. The biggest challenge it faces is how to configure the SPR system to efficiently handle the vast amounts of data generated by modern fabs and organize the data to provide a fast and consistent solution.