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在激光切割半导体领域,激光束的成形部分对切割质量和切割效率有着直接且重要的影响.而该领域,激光束的成形部分又包括了激光点的整形,激光束能量的控制和分束聚焦三个重要的技术分支.
激光束成形专利分析
【摘 要】
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在激光切割半导体领域,激光束的成形部分对切割质量和切割效率有着直接且重要的影响.而该领域,激光束的成形部分又包括了激光点的整形,激光束能量的控制和分束聚焦三个重要的
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心,广东 广州,510000
【出 处】
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科技展望
【发表日期】
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2017年5期
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