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本文提出了激光功能微计技术在高精度混合集成电路上的应用，讨论了关键技术问题，并以实例具体说明，该技术的应用为研制高精度混合信椐电路开辟了新途径。
混合集成电路激光功能调值技术
【摘 要】
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本文提出了激光功能微计技术在高精度混合集成电路上的应用，讨论了关键技术问题，并以实例具体说明，该技术的应用为研制高精度混合信椐电路开辟了新途径。
【机 构】
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西安微电子技术研究所
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1996年4期
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