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【摘 要】
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蓝宝石晶片的总厚度差(TTV)和表面粗糙度是影响蓝宝石键合成败的关键因素。研究了减薄抛光工艺对蓝宝石衬底的作用机理,结合实际加工要求选择不同粒径磨料组合和适当的压力条
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室; 中北大学电子测试技术重点实验室;
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51405454);国家杰出青年科学基金资助项目(51425505)
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