【摘 要】
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高速光开关是实现光传输路径变换的关键器件之一.对于目前马赫-曾德型光开关本身占据的尺寸较大或者在一维方向上尺度较长的缺点,提出了一种利于高度集成的矩形马赫-曾德2
【机 构】
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北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室,DepartmentofElectricalEngineering
【基金项目】
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国家自然科学基金（No.61377059）、教育部留学回国人员科研启动基金资助项目、北京市属高等学校高层次人才引进与培养计划项日（No.002000543113508）、北京工业大学“京华人才”支持项目（No.002000543113526）和北京工业大学博士科研启动基金项目（No.002000543112533）资助
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高速光开关是实现光传输路径变换的关键器件之一.对于目前马赫-曾德型光开关本身占据的尺寸较大或者在一维方向上尺度较长的缺点,提出了一种利于高度集成的矩形马赫-曾德2×2光开关单元结构.器件由基于受抑全内反射原理的沟槽型微纳分光/合光器和90°弯曲波导的L型参考/相移臂两者构成,极大地减小了由此构成的马赫-曾德光开关器件的尺寸.利用硅的热光效应,举例设计了开关器件的L型相移臂上升50℃实现π相移时需要的总长度约为84μm.同时采用有限元法分析得到在NiCr金属电极加热器上施加电压3.5V时
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