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基于激光冷却和捕获原子的原理,初步探讨了利用原子进行纳米量级图形制作的基本原理和实验研究.研究结果表明,此技术可实现分辨率高达几个纳米大小的超微细图形制作,制作效率极高.
通过控制原子实现纳米图形制作研究
【摘 要】
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基于激光冷却和捕获原子的原理,初步探讨了利用原子进行纳米量级图形制作的基本原理和实验研究.研究结果表明,此技术可实现分辨率高达几个纳米大小的超微细图形制作,制作效率
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2000年1期
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