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目前国内外出现的几种离子刻蚀技术－等离子体刻蚀，反应离子束刻蚀，离子束铣，聚焦离子束刻蚀等分别作了详细介绍，并指出今后离子刻蚀技术的发展方向。
离子刻蚀技术现状与未来发展
【摘 要】
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目前国内外出现的几种离子刻蚀技术－等离子体刻蚀，反应离子束刻蚀，离子束铣，聚焦离子束刻蚀等分别作了详细介绍，并指出今后离子刻蚀技术的发展方向。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年2期
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