用于二元光学器件制作的激光直写系统

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通过双远心成像光路,激光直写(LDW)系统SVG—LDW 04把液晶空间光调制器(LCD-SLM)上的光斑直接成像在光刻胶板上,得到高质量的光斑图形。放置在SLM的共轭面上的CCD成像调焦装置能够实时地在监控像面质量。控制SLM的输入图形、曝光量(刻蚀深度)及系统的运行方式,LDW系统能够制作不同特性的二元衍射光学元件。给出了典型的(2台阶、4台阶)位相衍射器件制作的实验结果。
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