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根据ICF靶材料研究的需要,采用自悬浮定向流技术制备了Cu9Al4、CuAl2和Cu4Al等金属间化合物纳米微粒,通过TEM和XRD研究颗粒的形貌、粒度和相组成。结果表明,颗粒为球形结构,粒径尺寸在20~60 nm之间。颗粒主要为IMC-Al的双相复合结构,在一定的工艺条件下蒸发源金属与所制备IMC相的原子比例有对应关系,可根据需要通过调配蒸气中金属原子比例得到所期望的IMC相。