可调谐激光二极管在绝对距离干涉测量中的应用

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可调谐激光二极管在绝对距离干涉测量中的应用J.Thiel等1.前它传统的步进干涉仪仅允许测量反射镜的移动位移凸L,该位移量由下式给出:AbL=Agb·55--(1)其中激光波长K。780urn,而西中为探测到的干涉条纹数。静态距离L。。s的测量方法是... Tunable Laser Diode in Absolute Distance Interferometry Applications J. Thiel et al. Its conventional stepper interferometer allows only the displacement L of the mirror to be measured, and the displacement is given by: AbL = Agb · 55 - (1) where the laser wavelength K. 780urn, and the number of detected fringes in the west. Static distance L. . s measurement method is ...
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