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扫描电镜故障的预防和及时排除对于延长扫描电镜的使用寿命,节约维修成本有着重要的意义。本文详细总结了蔡司GeminiSEM 300型场发射扫描电子显微镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)可能发生的一些故障,以及故障发生的原因、排除方法和预防措施,并介绍了测试磁性样品时的工作条件,希望对同行有参考的作用。