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采用MEVVA源引出的Ti等离子注入聚酯(PET)薄膜,注量在1×1017~2×1017 cm-2范围.用透射电子显微镜分析了金属离子注入PET纳米结构随注量增加的变化.结果表明,注入的Ti原子在PET中形成了密集的纳米相,这些纳米相均匀地弥散分布在注入层中.用透射电子显微镜(TEM)观察横截面表明,注入层为3层结构.可见Ti的注入已经在注入层中形成了金属化表面.表面硬度、抗磨损特性和电导率明显地增加.最后分析了金属离子注入对聚合物特性的改善机理.