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针对静电驱动微泵（micropump）多能量域系统仿真中存在计算量大的问题，基于弹性力学小挠度变形理论和微机电系统中的静电驱动理论，建立了静电力驱动下圆形微泵膜片（membrane）的变形曲面方程，采用伽辽金加权残值法得到膜片变形和泵腔容积变化的半解析式，结果显示膜片的变形和泵的容积变化与驱动电压的平方成正比．采用本文公式建立微泵系统宏模型（macromodel）或集中参数模型，有助于提高微泵系统仿真的计算效率．