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分析了激光自混合干涉仪位移测量误差及特点，提出了干涉仪的设计原则。对激光自混合干涉仪的系统稳定性与测量分辨力进行了实验研究，给出了改善系统稳定性与测量分辨力的有效方法。
激光自混合干涉仪的实验研究
【摘 要】
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分析了激光自混合干涉仪位移测量误差及特点，提出了干涉仪的设计原则。对激光自混合干涉仪的系统稳定性与测量分辨力进行了实验研究，给出了改善系统稳定性与测量分辨力的有效方
【机 构】
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中国科学院上海光机所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2001年1期
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