【摘 要】
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对于场发射三极管，提高使用频率，增加跨导以提高增益是设计的关键。因此，本文在研究场发射三极管工作原理的基础上，重点分析了场发射三极管结构参数与电参数的关系，设计出了两种结
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对于场发射三极管，提高使用频率，增加跨导以提高增益是设计的关键。因此，本文在研究场发射三极管工作原理的基础上，重点分析了场发射三极管结构参数与电参数的关系，设计出了两种结构、四种尺寸的自对准栅场发射三极管单元结构参数，并对它们的性能进行了讨论。
For the field emission transistor, increase the frequency of use, increase the transconductance to increase the gain is the key to the design. Therefore, based on the study of the working principle of the field emission transistor, this paper analyzes the relationship between the field emission transistor structure parameters and the electrical parameters, and designs the structural parameters of self-aligned gate field emission transistor with two structures and four sizes. And their performance is discussed.
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