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来源 :新课程(下) | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
"半导体制造技术"课程主要讲述半导体制造的全过程,涵盖一系列工艺流程,其理论性和实践性均较强。基于该课程的性质特点,针对行业需求,阐述了实践课程引入该课程中的重要性,以
【作 者】
:
郝惠莲
张艳
李文尧
刘宏波
【机 构】
:
上海工程技术大学材料工程学院
【出 处】
:
新课程(下)
【发表日期】
:
2016年18期
【关键词】
:
半导体
制造技术
实践教学
集成电路
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