论文部分内容阅读
本实用新型涉及一种有机发光组件（organic light emitting device；OLED）的沉积设备，该设备具有一基板传输系统以及至少一腔体，其特征在于该基板传输系统为一圆形转盘状，该腔体以一特定的顺序围绕在该基板传输系统的周围，利用该基板传输系统依一圆周方向转动，传送至少一基板至该腔体内进行沉积，以形成至少一镀膜于该基板之上，以制作至少一有机发光组件。