【摘 要】
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本文介绍了声表面波(SAW)卷积器/存储相关器用优质氧化锌(ZnO)压电膜的制备方法。用平面磁控溅射技术溅射ZnO陶瓷靶沉积出了激励SAW西沙瓦模式的优质ZnO膜。用同轴磁控溅射技
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所
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本文介绍了声表面波(SAW)卷积器/存储相关器用优质氧化锌(ZnO)压电膜的制备方法。用平面磁控溅射技术溅射ZnO陶瓷靶沉积出了激励SAW西沙瓦模式的优质ZnO膜。用同轴磁控溅射技术溅射ZnO陶瓷靶沉积出的优质ZnO膜制作ZnO/Si单片式SAW卷积器,使该器件性能进一步改善,同时给出了相应的实验结果。
This article describes the preparation of high quality zinc oxide (ZnO) piezoelectric films for SAW convolvers / storage correlators. High-quality ZnO films that excite the SAW Sisavat mode are deposited by sputtering magnetron sputtering of ZnO ceramic targets. A ZnO / Si monolithic SAW convolver was fabricated by sputtering ZnO ceramic target deposited by coaxial magnetron sputtering technique. The performance of the device was further improved. Corresponding experimental results were also given.
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