【摘 要】
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用化学气相淀积方法在Si(100)衬底上外延生长Ge组分渐变的Si1-xGex∶C合金薄膜。本文通过能量色散谱仪(EDS)和扫描电子显微镜(SEM)对合金薄膜的元素深度分布和表面形貌进行了
【机 构】
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南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室南京
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划(No.2006CB604900),, 国家高技术研究发展规划(No.2006AA03A103,2006AA03A142),, 国家自然科学基金(No.60421003),, 高等学校博士学科点专项科研基金(No.20050284004),, 单片集成电路与模块国家级重点实验室2006年度基金(No.9140C1404010605)