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建立了多晶硅生产氯化氢回收工艺过程的热力学模型，考察了吸收塔进气的氯化氢摩尔分数、吸收塔的液气比、解吸塔回流比等因素对吸收尾气中氯化氢摩尔分数、回收氯化氢中氯化氢摩尔分数的影响，并考察了闪蒸脱氢的最优条件。最终得出CVD尾气的最优吸收液气比和解吸回流比分别为1．4和0．3；STC氢化尾气的最优吸收液气比和解吸回流比分别为2．0和0．3；闪蒸的最优条件是0．2MPa、-40％。