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就氮(碳/氧)化硅薄膜的反应条件-组成和结构-性能之间关系的国内外研究进行了综述。
反应条件对氮(碳/氧)化硅薄膜性能的影响
【摘 要】
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就氮(碳/氧)化硅薄膜的反应条件-组成和结构-性能之间关系的国内外研究进行了综述。
【机 构】
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安徽理工大学化工系
【出 处】
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化学与生物工程
【发表日期】
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2004年01期
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