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在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜.X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到晶粒是有规律地按六方排布,薄膜的表面粗糙度较小;从光致发光谱还发现在380 nm处有非常强的紫外峰.
用锌有机源和CO2/H2混合气源PECVD沉积ZnO薄膜
【摘 要】
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在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜.X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到
【机 构】
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南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330047南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330047;南昌航空工业学院材料科学与工程学院,南昌,330034;南昌航空工业学院材料科学与工程学院,南昌,3300
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2006年4期
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