【摘 要】
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全球领先的半导体制造晶圆处理、清洗和表面处理设备供应商FSI国际有限公司,日前宣布一家重要半导体制造商订购了该公司的新ORION~单晶圆清洗平台。这项订单表明了该客户对
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全球领先的半导体制造晶圆处理、清洗和表面处理设备供应商FSI国际有限公司,日前宣布一家重要半导体制造商订购了该公司的新ORION~单晶圆清洗平台。这项订单表明了该客户对2008年5月FSI发运的、用于后段(BEOL)32nm开发项目的评估机台的认可。该系统特有的闭室设计可解决
FSI International, the world’s leading supplier of semiconductor wafer processing, cleaning and surface treatment equipment, announced today that a major semiconductor manufacturer has ordered the company’s new ORION ~ single wafer cleaning platform. This order reflects the client’s approval of the FSI shipments for the 32-nm development project at the back end (BEOL) shipped in May 2008. The system’s unique closed-chamber design can be solved
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